|
Микроскоп Eclipse L200A это полностью моторизированная версия модели L200, это идеальный инструмент для полуавтоматической инспекции полупроводниковых пластин диаметром до 200мм и интегральных микросхем в отраженном свете на наличие дефектов.
Моторизация и внешняя панель управления минимизируют вероятность загрязнения объекта исследования увеличивая производительность.
Часто повторяющиеся операции такие как: смена методов контрастирования и объективов, управление апертурой, фокусировка и регулировка интенсивности освещения теперь полностью моторизированы и управляются с панели управления или ПК. При этом фактически отсутствует необходимость каких либо ручных манипуляций над образцом, что предотвращает его загрязнение по вине оператора.
Полное исключение отклонений в результатах инспекции из-за ошибок оператора и различий в настройках микроскопа.
Оптимальные условия наблюдения включая фокусировку, интенсивность освещения, DIC призмы и поляризатора могут быть сохранены отдельно для каждого объектива и восстановлены лишь простой сменой увеличения. Такая возможность обеспечивает полную воспроизводимость результатов исследования, а так же существенно ускоряет работу с микроскопом.
Применение в комбинации со станцией загрузки подложек NWL860 обеспечивает исключительную точность в процессе оптического контроля полупроводниковых пластин, трафаретов, сеток и прочих подложек.
|
На фото:
Моторизированный микроскоп L200A для исследования 100-200мм кремниевых подложек методами светлого/темного поля и DIC, с галогенным эпископическим осветителем 50Вт, тринокулярным тубусом с изменяемым углом наклона и светоделителем 100:0/20:80, объективами серии CFI LU Plan Fluor установленными в моторизированный револьвер с механизмом центровки
|
Методы контрастирования:
светлое/темное поле, простая поляризация, DIC.
|
Приложения
Полупроводниковая промышленность - производство полупроводниковых подложек и печатных плат |
Предотвращение загрязнения |
| В конструкции этой модели инженеры Nikon особое внимание уделили защите исследуемых объектов от загрязнения. Элементы этого микроскопа покрыты специальным составом, который обеспечивает электростатическое разряжение для предотвращения электростатических разрядов и адгезии посторонних частиц к микроскопу. Помимо этого электромотор револьверной головки дополнительно защищен от попадания внутрь частиц пыли и предотвращают любую возможность попадания посторонних частиц из его механизма на исследуемый объект. |
Виброзащищенный штатив высокой прочности |
Применение структурного анализа в процессе разработки модели помогло сконструировать штатив с улучшенными характеристиками по жесткости и антивибрационным параметрам, поэтому картинка остается статичной даже на самых больших увеличениях. |
Тринокулярный тубус с изменяемым углом наклона |
 Тубусы с изменяемым углом наклона 0-30° и сдвинутой к оператору точкой обзора L2-TT/L2-TT2 обеспечивают прямое (не перевернутое) изображение и комфортное положение рук независимо от роста и физических данных пользователя. Тубус L2-TT2 имеет переменный оптический делитель 100:0/20:80 (для L2-TT 100:0/0:100) для одновременного наблюдения объекта в окулярах и на мониторе системы фото-видео документирования. Стандартный тринокулярный тубус LV-TI3 с фиксированным углом наклона 30° так же доступен. Окуляры системы имеют ультра широкопольную конструкцию с полем зрения 25мм.
|
Фиксированная позиция ручки перемещения столика по осям X-Y |
 Ручка перемещения столика расположена на оптимальном расстоянии к оператору и имеет фиксированное положение независимо от перемещения столика.
Все элементы управления сконцентрированы в непосредственной близости друг от друга, поэтому нагрузка на руки оператора во время работы минимальна. |
Универсальная моторизированная револьверная головка надежнее традиционных моделей
|
 Установка до 6 объективов.
Более точная конструкция моторизированной револьверной головки обеспечивает непревзойденную надежность в работе.
Усовершенствованный механизм центровки полностью исключает смещение картинки при смене объективов, обеспечивая стабильное изображения на больших и малых увеличениях.
Механизм антивспышки обеспечивает защиту глаз оператора при смене объективов.
|
Осветитель |
| В микроскопах L200А осветитель отраженного света и трансформатор встроены в корпус штатива. В качестве источника света служит специально разработанный галогеновый источник 100Вт,12В |
Панель удаленного управления |
Быстрое и простое управление микроскопом не отрывая глаз от объекта исследования. Все элементы управления расположены на панели управления, поэтому в процессе работы можно полностью исключить тактильный контакт с микроскопом.
|
Программируемые установки |
 Процесс инспекции может меняться в зависимости от типа подложки и предпочтений пользователя. Поэтому каждый раз приходится подстраивать узлы микроскопа. Возможность программирования в L200A исключает этот рутинный процесс. Вы просто выбираете сохраненные ранее предустановки в зависимости от метода контрастирования, увеличения объектива, объекта исследования, фокусировки, позиции столика, апертуры и интенсивности света.
Чтобы начать работу, вам лишь нужно выбрать файл с Вашим именем. |
Предметные столики
|
В модели L200A представлено 3 типа столиков:
Стандартный механический 200х200мм;
Моторизированный 200х200мм с контроллером ISS200;
Столик для работы с автоматическим загрузчиком подложек NWL860.
3 типа держателей образцов:
2 держателя для кремниевых подложек разработанные под диаметры 100-200 мм;
Держатель для квадратных трафаретов 100, 125 и 150мм.
|
Целевой объект для легкой фокусировки
|
 Введение целевого объекта в оптическую схему микроскопа позволяет произвести простую и точную фокусировку даже на прозрачных слабоконтрастных подложках.
|
Работа в комбинации с загрузчиком подложек |
В идеальном случае L200A может быть cкомплектован с загрузчиком кремниевых пластин и моторизированным предметным столиком чтобы реализовать систему полуавтоматического контроля по минимальной стоимости.
|
каталог
области применения
спецпредложение
статьи
новости
контакты
