|
Микроскопы Eclipse L200N/L200ND идеальный инструмент для исследования полупроводниковых пластин диаметром до 200мм на наличие дефектов.
Модели L200N/L200ND пришли на смену предыдущей серии микроскопов L200/L200D. В комбинации с новой оптикой CFI60 LU/L и новой осветительной системой, этот микроскоп обеспечивает картинку великолепной контрастности, высокого разрешения, а картинка в темном поле теперь в три раза ярче, чем в микроскопах предыдущего поколения. Применение в комбинации со станцией загрузки подложек обеспечивает исключительную точность в процессе оптического контроля полупроводниковых пластин, трафаретов, сеток и прочих подложек.
Nikon Eclipse L200N - прямой микроскоп для исследования полупроводниковых пластин в отраженном свете.
Nikon Eclipse L200ND - в дополнение к исследованиям в отраженном свете эта передовая модель обеспечивает диаскопическое освещение, что дает возможность исследования LCD дисплеев и фотомасок на просвет.
|
На фото:
Микроскоп L200N для исследования 150мм кремниевых подложек методами светлого/темного поля и DICс галогенным эпископическим осветителем 50Вт, тринокулярным тубусом с изменяемым углом наклона и светоделителем 100:0/20:80, объективами серии CFI LU Plan Fluor установленными в моторизированный револьвер |
Методы контрастирования:
светлое/темное поле, простая поляризация, DIC, эпифлюоресценция.
|
Приложения
Полупроводниковая промышленность - производство ЖК дисплеев, полупроводниковых подложек, печатных плат, трафаретов и сеток. |
Предотвращение загрязнения |
| В конструкции этой модели инженеры Nikon особое внимание уделили защите исследуемых объектов от загрязнения. Штатив, основание, тубус (L2-TT и L2-TT2A) и элементы управления этого микроскопа покрыты специальным составом, который обеспечивает электростатическое разряжение для предотвращения электростатических разрядов и адгезии посторонних частиц к микроскопу. Помимо этого электромотор револьверной головки дополнительно защищен от попадания внутрь частиц пыли и предотвращают любую возможность попадания посторонних частиц из его механизма на исследуемый объект. |
Объективы CFI60 с большим рабочим расстоянием и высокой апертурой |
 Воплощая преимущества 60мм парфокального расстояния, новая серия оптики CFI60 обеспечивает бОльшее фокусное расстояние и высшие значения апертуры среди конкурентов. CFI60 обеспечивает безопасное расстояние до объекта исследования сохраняя яркость изображения. Кроме этого, в CFI60 улучшена оптическая центровка, благодаря чему теперь можно добиться практически полной минимизации смещения изображения при смене объективов. |
Виброзащищенный штатив высокой прочности |
Применение структурного анализа в процессе разработки модели помогло сконструировать штатив с улучшенными характеристиками по жесткости и антивибрационным параметрам, поэтому картинка остается статичной даже на самых больших увеличениях. |
Тринокулярный тубус с изменяемым углом наклона |
Тубусы с изменяемым углом наклона 0-30° и сдвинутой к оператору точкой обзора L2-TT/L2-TT2 обеспечивают прямое (не перевернутое) изображение и комфортное положение рук независимо от роста и физических данных пользователя. Тубус L2-TT2 имеет переменный оптический делитель 100:0/20:80 (для L2-TT 100:0/0:100) для одновременного наблюдения объекта в окулярах и на мониторе системы фото-видео документирования. Стандартный тринокулярный тубус LV-TI3 с фиксированным углом наклона 30° так же доступен. Окуляры системы имеют ультра широкопольную конструкцию с полем зрения 25мм.
|
Фиксированная позиция ручки перемещения столика по осям X-Y |
 Ручка перемещения столика расположена на оптимальном расстоянии к оператору и имеет фиксированное положение независимо от перемещения столика.
Все элементы управления сконцентрированы в непосредственной близости друг от друга, поэтому нагрузка на руки оператора во время работы минимальна. |
Универсальная моторизированная револьверная головка надежнее традиционных моделей
|
 Установка до 6 объективов.
Более точная конструкция моторизированноой револьверной головки обеспечивает непревзойденную надежность в работе.
Усовершенствованный механизм центровки полностью исключает смещение картинки при смене объективов, обеспечивая стабильное изображения на больших и малых увеличениях.
Механизм антивыспышки обеспечивает защиту глаз оператора при смене объективов.
|
Новый 50Вт, 12В галогенный источник освещения высокой интенсивности ярче стандартного 100Вт, 12В! |
|
 Осветители
В микроскопах L200N/L200ND осветитель отраженного света и трансформатор встроены в корпус штатива, в модели L200ND так же встроен осветитель проходящего света. В модели L200ND при использовании дополнительного трансформатора возможны исследования в технике одновременного проходящего и отраженного света.
Источники освещения.
- LV-LH50PC галогеновый источник высокой интенсивности 12В, 50Вт. Инженеры Nikon изменили размер и форму нити накала в конструкции лампы этого осветителя. В результате яркость осветителя даже выросла по сравнению со стандартными осветителями 100Вт (при исследованиях на увеличениях 50х и выше в отраженном свете яркость выросла на 20%, в проходящем на 40-50%). Уменьшился нагрев осветителя, и оптические аберрации вызванные механической трансформацией штатива при нагреве.
- Оптоволоконный моторизированный ртутный источник освещения 130Вт C-HGFIE. Этот новый осветитель обладает более широкой спектральной полосой свечения. Осветитель не требует центровки и фокусировки даже после смены лампы и имеет встроенный механизм регулировки яркости с 6 уровнями интенсивности от 3 до 100%. Срок службы лампы до 2.000 часов. Осветитель может управляться с компьютера для нужд оптимизации фотосъемки при использовании программных пакетов NIS Elements, а также с опционального контроллера.
Моторизированный осветитель автоматически выбирает оптимальные условия освещения в зависимости от выбранного объектива и метода контрастирования. Он так же может быстро установить сохраненные в памяти параметры освещения при частой смене методов контрастирования в некоторых требующих этого исследованиях.
|
Элементы управления на передней панели |
Основные элементы управления расположены на передней панели штатива для удобного доступа к ним.
Стало возможным быстрое и простое управления микроскопом не отрывая глаз от объекта исследования.
Конструкция штатива минимизирует усталость во время долгой работы с микроскопом.
|
Предметные столики
|
В модели L200N/L200ND представлено 4 типа держателей образцов и большой предметный столик размером 200х200 мм.
2 держателя для кремниевых подложек разработанные под диаметры 100мм, 150 мм и 200 мм
2 держателя для квадратных трафаретов 125мм и 150мм
|
Целевой объект для легкой фокусировки
|
 Введение целевого объекта в оптическую схему микроскопа позволяет произвести простую и точную фокусировку даже на прозрачных слабоконтрастных подложках.
|
каталог
области применения
спецпредложение
статьи
новости
контакты
